PRODUCT & SERVICE
【概要文】
吉永商事株式会社では、パワー半導体用途を中心に注目が高まっているSiCウェハの供給を行っております。用途や仕様に応じた多様な対応可能で、試作から量産フェーズまで幅広いご提案が可能です。 大手材料メーカーとの連携により、国内外の大学・研究機関・製造メーカー様への豊富な納入実績を有しており、確かな品質と柔軟な対応力を強みとしています
| 項目 | 標準仕様例 |
|---|---|
| 対応サイズ | 4インチ /6インチ / 8インチ 試作〜量産スケールまで対応 |
| 多形（Polytype） | 4H（導電型 / 半絶縁型） 6Hタイプもご相談可能 |
| 表面方位 | <0001> / オフ角4°±0.5° |
| ドーパント | N型/ 半絶縁型（HPSI） |
| 抵抗率 | 両0.015〜0.025 Ω ·cm（N型） / ≥1E8 Ω·cm（HPSI） （別途確認） |
| 厚み | 500 ±25 μm |
| TTV / LTV / Bow | TTV ≤10μm / Bow ±25μm（typ.） |
| 表面粗さ（Ra） | ≤0.2 nm（Si面CMP） |
| マイクロパイプ密度 | ≤1〜2個/cm²（HPSI） |
| 結晶欠陥密度 | TSD ≤500 / BPD ≤2000 / TED ≤7000 ea/cm² |
| 表面処理 | Si面CMP / C面ポリッシュ |
| エッジ処理 | 面取り加工（Chamfer） |
| 梱包仕様 | 窒素充填＋真空包装、マルチカセット |
○ 多結晶・単結晶 SiC、半絶縁型・導電型など各種対応
○ インゴットからの加工対応、特殊寸法も相談可
○ 国内外メーカーとの連携による安定供給体制
○ 小ロット／短納期案件にも迅速対応（研究・開発用途にも実績多数）
○ 梱包形態（真空・窒素充填、シングル／マルチカセット）も選択可能
ご用途・目標仕様に応じて、最適なSiCウェーハをご提案いたします。
カスタム加工についてもお気軽にお問い合わせください。
商品に関するお問い合わせ及びご相談等、お気軽にお問い合わせください。
