PRODUCT & SERVICE
【概要】
吉永商事株式会社では、8インチと12インチのシリコンウェーハを取り扱っており、お客様の使用環境やご要望に応じて最適な製品をご提案いたします。
半導体製造プロセスや研究用途に適した各種ウェーハを、小ロットから安定的にご提供可能です。
大手材料メーカーとの連携により、国内外の大学・研究機関・製造メーカー様への豊富な納入実績を有しており、確かな品質と柔軟な対応力を強みとしています。
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| サイズ | 8 ・12inch |
| 製造方法 | CZ/FZ |
| タイプ | P型（B） |
| 厚み（μm） | 725±25/775±25 |
| 仕上げ | 両面ミラー（別途確認） |
| 抵抗値（Ω・cm） | 1～100（別途確認） |
| 平坦度（μm） | GBIR≤5、Warp≤80 |
| 結晶方位 | <100>±1° |
| ノッチ（㎜） | 深さ1～1.25、方位<110>±1° |
| 表面メタル | 別途確認 |
| パーティクル | 別途確認 |
| 外観規定 | 次の項目が目視によりないこと 欠け、クラック、ディンプル エッジチップ、マクロスクラッチ 汚れ |
CZ法（チョクラルスキー法）と呼ばれる製造方法を用いて、シリコンウェーハの材料となる単結晶インゴットを製造しています。
このインゴットは、主にデバイス製造工程の一つであるエッチングプロセスに使用される、非常に重要な消耗材料です。
弊社では、お客様のご要望に応じて、さまざまなサイズや抵抗率のシリコンインゴット製品を提供することが可能です。
商品に関するお問い合わせ及びご相談等、お気軽にお問い合わせください。
