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产品 & 服务

PRODUCT & SERVICE

【简介】
吉永商事株式会社提供8英寸和12英寸硅晶圆,我们将根据您的使用环境和需求,为您推荐最合适的产品。
我们可以从少量订单开始,为您稳定提供适用于半导体制造工艺和研究用途的各种晶圆。

通过与大型材料制造商的合作,我们拥有向国内外大学、研究机构和制造商供货的丰富业绩,并以可靠的品质和灵活的应对能力为我们的核心优势。

项目 规格
尺寸 8 / 12英寸
制造方法 CZ / FZ
类型 P型(B)
厚度(μm) 725±25 / 775±25
表面处理 双面抛光(需另行确认)
电阻率(Ω·cm) 1~100(需另行确认)
平坦度(μm) GBIR≤5、Warp≤80
晶向 <100>±1°
缺口(Notch)(㎜) 深度1~1.25、晶向<110>±1°
表面金属 需另行确认
颗粒(Particle) 需另行确认
外观规定 目视不可见以下缺陷:
缺损、裂纹、凹坑
边缘崩边、宏观划痕
脏污
产品说明

我们采用CZ法(直拉法),制造作为硅晶圆材料的单晶硅锭(Ingot)。

该硅锭主要用于器件制造工序之一的刻蚀(Etching)工艺,是非常重要的消耗材料。

我们可以根据客户的需求,提供各种尺寸和电阻率的硅锭产品。

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我们诚挚期待
您的宝贵意见。

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