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产品 & 服务

PRODUCT & SERVICE

【简介】
吉永商事株式会社提供SiC(碳化硅)晶圆,该产品在功率半导体等应用领域正备受瞩目。我们能够根据您的用途和规格提供多种解决方案,从试作到量产阶段均可提供广泛的建议。通过与大型材料制造商的合作,我们拥有向国内外大学、研究机构和制造商供货的丰富业绩,并以可靠的品质和灵活的应对能力为我们的核心优势。

项目 标准规格示例
支持尺寸 4英寸 / 6英寸 / 8英寸
支持从试作到量产规模
多型(Polytype) 4H(导电型 / 半绝缘型)
6H类型也可协商
表面晶向 <0001> / 偏角4°±0.5°
掺杂物 N型 / 半绝缘型(HPSI)
电阻率 0.015〜0.025 Ω·cm(N型) / ≥1E8 Ω·cm(HPSI)
(需另行确认)
厚度 500 ±25 μm
TTV / LTV / Bow TTV ≤10μm / Bow ±25μm(typ.)
表面粗糙度(Ra) ≤0.2 nm(Si面CMP)
微管密度 ≤1〜2个/cm²(HPSI)
晶体缺陷密度 TSD ≤500 / BPD ≤2000 / TED ≤7000 ea/cm²
表面处理 Si面CMP / C面抛光
边缘处理 倒角加工(Chamfer)
包装规格 充氮+真空包装、多片装晶圆盒
我们的特点

○ 支持多晶/单晶SiC、半绝缘型/导电型等各类产品
○ 支持从晶锭(Ingot)开始的加工,特殊尺寸也可协商
○ 通过与国内外制造商合作,建立稳定的供应体制
○ 迅速应对小批量/短交期项目(在研发用途方面拥有丰富业绩)
○ 可选择包装形式(真空/充氮、单片装/多片装晶圆盒)

联系我们

我们将根据您的用途和目标规格,为您推荐最合适的SiC晶圆。
关于定制加工,也欢迎随时向我们咨询。

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